理化学研究所（理研）光量子工学研究センター 先端レーザー加工研究チームの杉岡 幸次 チームリーダー、张 嘉未（ジャン・ジャウェイ）特別研究員の研究チームは、超短パルスベッセルビーム[1] による微細可溶部形成とその後の選択化学エッチングを ...