世界初のナノインプリント向け量産用マスクレプリカ製造装置を製品化 "FPA-1100NR2"をマスクのリーディングサプライヤーに納入 キヤノンは、世界で初めて、ナノインプリント技術を用いた半導体製造装置用のマスクを低コストで複製する、量産用マスク ...